Chimie en microélectronique

La microélectronique est un monde complexe dans lequel
plusieurs sciences comme la physique, l’électronique,
l’optique ou la mécanique, contribuent à créer
des nano-objets fonctionnels. La chimie est particulièrement impliquée
dans de nombreux domaines tels que la synthèse des matériaux, la pureté
des fluides, des gaz, des sels, le suivi des réactions chimiques et de
leurs équilibres ainsi que la préparation de surfaces optimisées et la
gravure sélective de couches spécifiques. Au cours des dernières
décennies, la taille des transistors s’est considérablement réduite et
la fonctionnalité des circuits électroniques s’est
accrue. Cette évolution a conduit à une interpénétration de la chimie
et de la microélectronique exposée dans cet ouvrage.


Chimie en microélectronique présente les chimies et les
séquences utilisées lors des procédés de production de la
microélectronique, des nettoyages jusqu’aux gravures des plaquettes de
silicium, du rôle et de l’impact de leur niveau de pureté jusqu’aux
procédés d’interconnexion des millions de transistors composant un
circuit électronique. Afin d’illustrer la convergence avec le domaine de
la santé, l’ouvrage expose les nouvelles fonctionnalisations
spécifiques, tels que les capteurs biologiques ou les capteurs sur la
personne.